二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9210307 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一種精密的蝕刻器/asher，用於半導體生產和其他需要精確、可重復控制的復雜過程。是在200毫米和300毫米晶圓上加工鋁等材料的高通量、先進的灰化設備。它能夠處理多種基材，在吞吐量和抗殘留還原方面提供卓越的性能。GASONICS Aura 1000具有先進的專利蝕刻技術,能夠精確、精確地蝕刻鋁和其他材料。它具有可擴展、高通量、均勻的蝕刻工藝,能夠處理各種晶圓尺寸。一種不對稱和對稱塗層的組合，使得底物可以蝕刻而不會被削弱，並且在嚴格的工藝公差範圍內。雙室系統還具有單獨的夾緊和灰化功能，可以根據需要對過程進行微調和控制。NOVELLUS Aura 1000還包括一個模塊化設計，方便快捷的安裝和維護。Aura 1000支持廣泛的單元曲線、功率水平和腔室配置，以滿足各種工藝的需求。與舊系統相比,它的吞吐量率（成本和時間節約）降低了100倍,並且可以有效地將臨界尺寸變化減少50%。高通量、均勻的蝕刻工藝改進了對晶圓厚度均勻性的控制,並實現了可重復的生產就緒結果。該機器還具有廣泛、直觀的用戶界面，用於編程、監控和推進流程流程。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000采用了先進的專有處理技術和先進的氣候控制，以確保一致、優越的效果。它在蝕刻和抗剝離過程中提供了卓越的可重復性和均勻性,確保了優化過程。先進的晶圓處理技術提供了在蝕刻和灰化之間輕松切換的靈活性,而無需額外的設備。溫度控制室還確保提高N2純度和更高水平的過程可重復性。此外,GASONICS Aura 1000還具有高級自我診斷功能和詳細報告,以確保工具的最佳性能。它利用先進的傳感器和對蝕刻環境的嚴格控制來確保參數得到滿足。高級自動化選項還允許用戶即時進行調整,從而確保準確和可重復的結果。總體而言,NOVELLUS Aura 1000是一款功能強大且高效的蝕刻器/asher,能夠處理多種材料。它是一個經濟高效的解決方案,可為各種流程提供可重復且準確的結果。它還易於安裝和維護,確保可靠和長期的性能。