二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9241898 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是用於制造超精密集成電路的高品質蝕刻器和asher設備。該系統采用有源氣源，以極高的精度沈積材料，使其成為當今現代高精度集成電路先進蝕刻和灰化需求的絕佳選擇。GASONICS Aura 1000設計有六個單獨的氣源，允許獨立的氧氣、氟氣和空氣基氣體。該裝置還具有先進的腔室設計，可產生更高的精確度，可通過使用不潤濕的集成氣體屏障進一步改變。該腔室還設計用於減少顆粒計數，從而進一步提高蝕刻和灰分工藝的準確性和保真度。增加的控制選項使NOVELLUS Aura 1000更具動力和靈活性。其中包括一臺能有效消除氣體和廢氣顆粒物的先進排氣機、專門為精確模式生成而設計的光刻工具，以及觸摸操作的觸摸屏控制。所有這些功能結合在一起,使Aura 1000成為當今最強大的系統之一。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000與一般可用的蝕刻和灰化系統兼容，進一步擴大了其應用範圍。它設計用於9400系列、9500系列和9700系列糾錯系統，允許頻繁和一致的沈積。資產的精確度足以將物料直接沈積到基材上，大大簡化了工藝。最後，GASONICS Aura 1000不需要任何額外的配件或用品，因為它設計為與原始設備一起運行。這樣就不需要昂貴的安裝,也不需要任何復雜的安裝過程。在設備升級和保持準確、精確的結果方面，這可以是一個很大的優勢。總之，NOVELLUS Aura 1000是一款先進的機型，提供精確度、精準控制和成本效益的出色融合，使其成為高級蝕刻和灰化需求的完美選擇。