二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9242400 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款高科技蝕刻器/asher，應用範圍廣泛。它有一個直觀的用戶界面，設計成以最少的操作員培訓來工作，使其能夠以簡單高效的方式執行復雜的蝕刻和清潔任務。該設備具有低壓陰極射線管等離子體源，允許它在不同的溫度和深度蝕刻，同時保持均勻性。顯示屏是全彩色液晶，直接鏈接到系統的車載計算機，使用戶可以輕松控制蝕刻參數。GASONICS Aura 1000還有一個集成的粘合器/拆卸器單元，允許快速和精確的晶圓連接和拆卸。該裝置具有快速批處理能力，意味著可以一批蝕刻、清洗和清潔數百個晶片，大大提高了吞吐量。等離子體保護機提供了一個故障安全的二次清洗階段，以保證更好的過程控制。NOVELLUS Aura 1000有兩步物理蝕刻過程：反應性離子蝕刻和等離子體化學蝕刻。這允許用戶實現精確的蝕刻深度，以及精確的處理時間。蝕刻工藝還可以極好地控制層變薄，這在創建多層光刻膠或銅結構時很重要。該單元的使用壽命較長,需要最少的維護。可通過用戶界面訪問該工具,並提供故障排除和診斷功能,以實現快速、準確的工作。總體而言,Aura 1000是一種直觀的高端蝕刻資產,專為高效、準確和方便而構建。其廣泛的功能和自動化程度使其成為蝕刻或清潔應用的絕佳選擇,為眾多晶圓和組件過程提供卓越的性能。