二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9280985 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款蝕刻器/asher,旨在提供卓越的工藝靈活性和卓越的設備性能。該系統具有每小時6英寸晶片（wph）的生產能力,能夠蝕刻尺寸從4英寸到6英寸的晶片。該工具為需要加工更大晶圓的制造商提供了一個寶貴的選擇。它最多可容納十六（16）個工藝室,為客戶提供來自不同配方的各種工藝選擇。GASONICS Aura 1000是一種高容量、高性能的蝕刻/增加工具,適用於廣泛的應用。它結合了先進技術和用戶友好的人機工程學，以簡化操作和維護。由於在每個工藝室中集成了三種配方,因此該工具還提供了卓越的工藝靈活性。它還配備了流程智能、自動診斷和自動校準等創新功能。該單元具有蝕刻各種半導體材料的能力，包括矽、的和其他各種III-V化合物。NOVELLUS Aura 1000能夠提供最佳效果,同時降低擁有成本。其設計采用先進的面向生產的控制機器，以確保高效、可靠和經濟高效的蝕刻工藝。該工具采用多有效、多模式、多通道蝕刻平臺以及易於使用的配方編程。整個資產還被設計為不斷監督過程，並根據傳感器模型的反饋進行調整。這樣可以確保蝕刻過程與客戶規範保持一致,從而提供卓越的工藝性能和周轉時間。此外,Aura 1000還提供全面的工廠監控和過程控制,能夠同時處理多個晶片。該工具符合ECD和其他相關行業標準,為高效、高精度的蝕刻工藝提供了理想的解決方案。設備采用整體顆粒處理系統設計，確保用戶環境不受汙染，設備保持清潔。總體而言,GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款功能強大、用戶友好且價格合理的蝕刻/asher,旨在為制造商提供經濟高效且面向生產的工具,用於各種半導體蝕刻應用。