二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9284336 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款為半導體制造工藝開發的高性能蝕刻器/asher。它的設計既具有成本效益又可靠，為各種工藝中的基板加工提供了可靠和精確的平臺。GASONICS Aura 1000具有獲得專利的Auto-Polarity Conversion （APC）技術,可實現快速、精確的陣列設計。與其他系統相比,此設備具有更高的準確性和可重復性,並且能夠對具有高長寬比和不同基板的系統進行蝕刻。此蝕刻器使用ALD、等離子體清潔和化學氣相沈積（CVD）工藝來圖樣選擇工藝、垂直對齊形狀特征和真實步高恢復。NOVELLUS Aura 1000利用星型中心基板傳輸系統進行精確的基板處理和定位。這個單元提供精確的載荷、定位和基板的旋轉。其他功能包括自動調平、自動晶圓映射、S級擴展和縮放處理吞吐量。此外，這款蝕刻器還具有集成超聲波和晶圓清洗技術的基板清洗功能。這提供了有效和精確的清潔基板表面。此外，Aura 1000的等離子體機器使用低粒子過濾，減少了可能傷害設備的粒子堆積。GASONICS/NOVELLUS Aura 1000附有高度整合的操作工具，提供對溫度、壓力和其他過程參數的實時監控。還有各種工藝配方、配置文件和設置,它們為操作員提供了自定義蝕刻和灰化工藝的靈活性。此蝕刻器易於使用和維護,具有用戶友好的圖形界面和全面的內置文檔。總體而言，GASONICS Aura 1000是一款先進、可靠且經濟實惠的精密半導體制造蝕刻器。其技術先進的設計、集成的工藝和基板處理，以及精心的清洗程序，為當今先進的半導體器件提供了高效、精確的蝕刻和灰化資產。