二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9390033 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款高端蝕刻/asher設備，用於深溝接觸圖樣和閃存等先進半導體應用。該系統采用專有的先進蝕刻技術，包括銅和預金屬介電濕蝕刻，以產生高產量和優異的電氣性能。GASONICS Aura 1000具有三個可配置的工藝模塊,具有廣泛的高級蝕刻化學選擇。設備的加工頭可根據每種材料和特征的特定蝕刻要求量身定制。它利用強大的自動化軟件來啟用可調蝕刻參數和運行無錯誤的進程。機器配備了高端的旋轉卡盤，以適應各種晶圓尺寸，能夠在不同的基板之間自動切換。它還能夠處理平面和3D結構,例如銅柱和TSV堆棧。NOVELLUS Aura 1000的主要優點之一是它能夠在一次運行中處理大量的基材。與其他蝕刻系統相比，Aura 1000可以通過同時處理多達24個晶圓來提高晶圓吞吐量和節省時間。除了處理能力外，GASONICS/NOVELLUS Aura 1000還擁有先進的監控系統，以確保一致的性能和可靠的結果。該工具結合了高級計量工具，以連續測量蝕刻率和調整資產參數，以實現最佳的過程控制。總體而言,GASONICS Aura 1000為蝕刻和粉刷高級特性和結構提供了理想的平臺。通過提供全套蝕刻功能和卓越的工藝控制,NOVELLUS Aura 1000可幫助提高產品生產率和產量,同時提供可靠且經濟高效的工藝解決方案。