二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9392786 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款蝕刻器/asher,提供高生產率、低維護、中高吞吐量和一致的結果。機器的核心部件包括帶有高功率射頻發生器和低壓環境的蝕刻室以及帶有高壓等離子體和微波發生器的灰化室。該機能對InP、GaAs、Si、SiGe等各種材料進行蝕刻和灰化。腔室的主要部件是工藝室、端鈴、射頻源、射頻匹配單元、IGBT Match、真空設備、頂裝機、波紋管、載重鎖和排氣系統。射頻源的不同部件包括射頻發生器、射頻匹配單元、IGBT Match、射頻火炬和射頻阻滯器。微波源由用於灰化過程的磁控管和用於蝕刻過程的大功率磁控管組成。GASONICS Aura 1000是一款經濟實惠的蝕刻/灰化裝置，可處理直徑達8英寸的200-300晶圓。它專為中高吞吐量而設計,提供多種蝕刻和灰化工藝。例如，它能夠進行深反應性離子蝕刻（DRIE）、等離子體浸入離子蝕刻（PIIE）和等離子體輔助氧化灰化。該工藝室配有一套納米顆粒清潔設施，以保證無顆粒基板。它還促進了可重復和可靠的溫度控制，以確保最佳的過程動力學。這臺機器還配備了OptiSelect軟件,幫助用戶選擇最佳蝕刻和灰化過程,以獲得所需的性能和結果。為了確保最佳工藝效果,NOVELLUS Aura 1000支持常規工藝監控和自動工藝優化。這包括監視參數,如蝕刻選擇性、蝕刻速率、特征大小控制、間隙距離和掩碼均勻性。此外，機器能夠預測和檢測過程漂移，從而防止明顯的過程變化發生。總體而言,Aura 1000是中高吞吐量應用程序的理想蝕刻器/asher。它高效、易於使用,並提供可靠、可重復的結果。該機還配備了火花檢測機等各種安全功能，以確保安全的工藝環境。