二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 1000 #9398806 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一款高級蝕刻器/asher,旨在實現高級芯片比例特征設計。這種設備能夠在2到10英寸大小的基板上對介電層和導體層進行復雜和復雜的蝕刻。它還能夠加工包括聚酰亞胺、多晶矽和金屬在內的各種材料。GASONICS Aura 1000在蝕刻方面提供了卓越的精確度和精確度，最小特征尺寸為0.5 µm，並具有卓越的光潔度。設備采用端點檢測系統控制蝕刻速率和端點，無晶圓廠多摻雜技術允許過程內精確的摻雜測量。該工具還具有數字閉環控制系統和合成噴射清洗工藝。Auras 1000提供了一系列好處,包括降低運營成本和提高流程效率。其創新的軟件平臺旨在通過易於使用的界面和可調節的工具實現更快的上市時間。該設備還結合了程序簡單性和增加的生產吞吐量。這確保了由於消除了手動參數調整而實現的無錯誤處理。NOVELLUS Aura 1000高度可靠，為編輯操作和密閉空間提供了潔凈室兼容的環境。此外，這種蝕刻器/asher要求實施安全措施，以確保其用戶和操作者免受傷害。Aura 1000的設計和建造也保護設備及其部件免受長期因磨損而損壞。與傳統的同類設備相比，蝕刻器/灰化器也是環保的，產生的排放和噪音更少。而且，它的設計也節能，比類似的蝕刻系統消耗了大約15%的能量。最後，GASONICS/NOVELLUS Aura 1000是一種先進的蝕刻器/asher，其設計使電介質層和金屬層的蝕刻更加復雜和精確。它結合了精確度、高吞吐量、易用性和安全特性,使其成為那些希望獲得易於使用和高效蝕刻器/asher的用戶的理想選擇。