二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #293654416 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是一款用於半導體制造業的蝕刻器和asher。它獨特的物理設計非常適合用於緊密且擁擠的工藝生產線,因為它的占地面積比許多競爭對手要小。該機器具有先進的光學、圖像感應和增強的機器人控制功能，使設備能夠顯著提高加工產量。此外，它還具有廣泛的自動化功能，包括晶片的裝卸、氣體輸送和沈積，以及晶片對準和陣列。這種高效設計和可靠加工的獨特組合使得GASONICS Aura 2000成為半導體制造的理想選擇。該機采用特殊的快速激光圖像掃描（FLIS）系統,能夠快速準確地檢測晶圓上所需的圖樣。此單元可實現極高的蝕刻精度,並具有更高的加工靈活性。此外,光學多路復用器允許機器執行多達八個並發蝕刻任務,從而提高其吞吐量並最大化機器的功能。根據所需的蝕刻參數,機器可用於多種工藝類型,包括線寬縮放、金屬圖案、金屬層沈積和定制設計圖案。在氣體和沈積輸送方面，NOVELLUS Aura 2000配備了五閥氣體輸送工具，使資產能夠有效地同時處理多達15種氣體。這一模式包括一個加油站，其中包括一個自動清洗單元和一個加油站，使技術人員能夠遠程控制氣體流量和平衡。該機器還配備了完全自動化的處理程序設備,有助於提高吞吐量和降低人工成本。此外，由於其先進的機器人控制，該系統能夠在晶圓上立即放置預定義的蝕刻層。此外,Aura 2000還具有多種安全功能。它包括一個雙壓力過濾單元，幫助凈化氣體進入腔室之前，以及激光安全聯鎖和多重保障措施，以防止因使用危險材料而發生事故。此外，該機還具有電氣和陰極射線保護，以增加安全性。總之，無論應用如何，GASONICS/NOVELLUS Aura 2000都是高效、可靠、安全蝕刻和粉刷的理想選擇。