二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #293654417 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是一種輕而深的反應性離子蝕刻/asher設備，用於集成電路的制造。它用於創建、修改和優化金屬化層、觸點和通風孔、其他金屬或半導體結構和金屬線的幾何形狀。它是金屬線條和圖案超細加工的先進工具，對金屬結構具有很高的精度和尺寸控制。該系統采用高速蒸發器將液態金屬溶液轉化為輸送到基板表面的蒸氣。汽化金屬顆粒以精細控制的方式沈積，內置的預清潔功能有助於優化光致抗蝕劑附著力，最大限度地降低隨之而來的汙染概率。一旦形成金屬層，基板就被放置在等離子體反應器中，在那裏可以通過壓力、功率和停留時間等可調節的參數來優化反應性離子蝕刻過程。GASONICS Aura 2000擁有卓越的均勻性和選擇性，使其成為「錐形」加工的完美選擇，允許粗細金屬線條以相同的圖案蝕刻。它還允許對透明絕緣材料進行蝕刻，從而在三維物體中實現多層金屬化。該設備由GASONICS TM 10X操作平臺提供動力,該平臺提供靈活的流程配方和集成的數據記錄,為操作員提供了對流程的極大控制,並對所獲得的結構進行了詳細的評估。它還包括一個16英寸液晶顯示器，方便控制和監控機器。NOVELLUS Aura 2000以其優越的蝕刻效果和清潔度而聞名。即使在反應性離子蝕刻過程中使用的溫度很高，其堅固的結構也能確保可靠的操作和穩定性。其極低的維護和排放速率使其成為最環保的蝕刻系統之一。