二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #293654418 待售
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GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是一款高性能等離子體蝕刻器/Asher，設計用於多種半導體加工應用。這種等離子體蝕刻器/asher利用先進等離子體技術（APT）為先進金屬，包括鋁、銅和鈦等提供蝕刻和灰化性能。GASONICS Aura 2000專為高端工藝性能和可靠性而設計，是業界蝕刻和灰化應用的黃金標準。NOVELLUS Aura 2000利用獨特的專有低壓等離子源（LPPS）實現其先進的蝕刻和灰化能力。利用這種技術，蝕刻速度由壓力和腔室/源溫度共同控制。壓力和溫度可以修改以滿足客戶的蝕刻和灰分要求。LPPS還實現了高離子密度，提高了蝕刻均勻性和選擇性。此外,Aura 2000還配備了專有內部射頻系統（PIRFS）,可在蝕刻速率和功率級別上實現精確高效的靈活性。PIRFS還可以實時監控過程,並通過控制整個基板上的單個蝕刻/灰分區域來微調過程。這樣可以實現更高效的操作和更一致的性能。GASONICS/NOVELLUS Aura 2000能夠實現非常精細的線型深度和均勻性，使其成為設計具有挑戰性的材料的理想選擇。高蝕刻速率、均勻性和選擇性使用戶能夠靈活選擇滿足其蝕刻需求的最佳配置。GASONICS Aura 2000還具有互鎖和增強診斷等安全功能。診斷功能有助於確保系統正常運行,而聯鎖有助於防止在危險條件下運行。NOVELLUS Aura 2000是一款功能強大的蝕刻器/asher，提供與其他工藝工具的互換性，使其易於集成到任何半導體環境中。這種蝕刻器具有先進的特點和技術，非常適合金屬、氮化物和氧化物方面的各種蝕刻和灰化需求。
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