二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #293761940 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是用於集成電路和其他微電子器件制造的蝕刻器/asher。適用於加工生產、工程中使用的大多數常規蝕刻和灰化應用。該設備旨在提供快速、可靠和可重復的過程,同時保持卓越的靈活性和精確度。GASONICS Aura 2000采用了專利的三級工藝，旨在優化基板清潔和材料蝕刻。過程的第一階段是蝕刻階段。在這個階段，一個必要的蝕刻化學和鈍化層被應用到基材上。蝕刻化學和鈍化層旨在分解基板上可能存在的任何有機或金屬汙染物，並設計成留下幹凈的基板表面。第二階段為灰燼階段。在這一階段，氧氣被引入室內開始灰化過程。氧氣與表面汙染物發生反應並氧化，使它們從固體變為氣態。此外，灰化過程有助於清除蝕刻過程中可能遺留下來的殘留物。過程的最後階段是清潔階段。在這一階段，室內充斥著氮氣，這有助於沖洗掉任何殘留的工藝殘留物。氮氣還用於過濾出腔室大氣中的雜質，從而確保腔室內部的空氣清潔均勻。NOVELLUS Aura 2000配備了全套流程監控和自動化功能，確保了精確的流程控制和可重復性。該系統還配備了集成控制器，可以方便地進行單元編程和過程優化。機器還有一個直觀的圖形用戶界面，可以讓用戶輕松快速地設置和控制工具。Aura 2000是各種蝕刻和灰化應用的理想解決方案。該資產有助於確保快速、可靠和可重復的流程性能,同時提供卓越的靈活性和精確度。憑借其集成的自動化解決方案,GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是一種經濟高效的解決方案,適用於許多蝕刻和灰化工藝。