二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9077802 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是一款用於半導體制造的高端晶圓蝕刻器/asher。它設有兩個工藝室，能夠控制各種材料的沈積和蝕刻速率。它具有許多特點，如支持低k電介質、用於腔室監測的石英視口、多腔室基板載荷和偏置能力，以及離子和等離子源濺射的選項。GASONICS Aura 2000可以使用反應性離子蝕刻、深反應性離子蝕刻、有機蝕刻、高長寬比蝕刻等多種工藝，通過多種材料進行蝕刻。它還有一個內置的光學監控設備，允許對蝕刻過程進行實時監控。設備具有高級進程控制接口。它可以編程為運行標準進程或自定義進程以適應不同的層、設備和結構。它能夠按順序運行多個進程,從而縮短周期時間。它預先配置了一系列配方,旨在根據所需的蝕刻優化工藝條件。NOVELLUS Aura 2000還配備了一個自動閥門檢查站，有助於確保蝕刻過程的一致性，提供可重復性和準確性。該裝置配備了反應性氣體和惰性氣體輸送系統的平衡。其目的是確保隨著時間的推移可以進行更清潔的過程，同時兼顧對過程速度和清潔度的需求。它還配備了各種傳感器和監測設備，以確保腔室內和晶片周圍的操作安全，幫助避免任何事故。該機采用多種診斷和監控子系統構建,允許高級流程優化。它包括一個用於清除加工室內汙染物的德加模塊，以及一個用於自動晶圓蝕刻聚焦控制的自動聚焦系統。單元多腔兼容，與生產線中的其他工具容易集成。總體而言，Aura 2000是一款最先進的蝕刻和asher機器，專門設計用於簡化半導體制造過程中的過程並提高吞吐量。它提供高精度和高產率的晶片蝕刻，以及各種控制功能和多種選擇蝕刻氣體和其他工藝。