二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9078051 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是一款為半導體工業設計的蝕刻/asher設備。它能夠將先進的圖樣刻蝕成個位數微米，使其成為最精確的系統之一。GASONICS Aura 2000在超高真空室中使用電子回旋共振（ECR）來取得非常精確的蝕刻結果。該系統具有兩種不同的ECR蝕刻能力-根據所需的蝕刻精度,其頻率為2.45 GHz或2450 MHz。NOVELLUS Aura 2000還具有低頻等離子體清洗功能，用於減少基板表面的損傷點，提高蝕刻效果。該單元具有直觀的控制界面，帶有圖形用戶界面（GUI），使控制蝕刻過程變得容易。Aura 2000有一個自動化的配方機，允許為多個基材設置多個配方。它還支持通過以太網連接或光纖鏈路的遠程訪問功能。此外，該工具還具有標準的行業接口，如SCSI-2和RS-232。GASONICS/NOVELLUS Aura 2000機械部件的精確度使其適合於蝕刻先進的圖案和特點。直線級能夠在三個軸上精確地移動基板，而電動質量流和真空系統能夠以較高的穩定性和精度運行。該資產還具有非常精確的瞄準模型，有助於提高蝕刻工藝的準確性。GASONICS Aura 2000的高級工藝配方允許用戶根據基材的要求優化蝕刻工藝。這使用戶能夠靈活地蝕刻不同類型的材料,而不會受到任何影響。該設備還具有自動調諧功能，有助於優化不同基板的蝕刻參數。總體而言,NOVELLUS Aura 2000是一個先進的蝕刻器/asher系統,能夠獲得高度精確的蝕刻結果。該單元擁有高精度瞄準機和先進的工藝配方，以及直觀的控制界面和遠程訪問能力。憑借其先進的特性和功能，它是在半導體行業應用中蝕刻高級特性的理想選擇。