二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9233409 待售
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ID: 9233409
晶圓大小: 8"
Asher, 8"
Model no: 99-0339
Install type: Tabletop
Machine run time: 9,646 Hours
Filament run time: 16,005 Hours
Wafer passes: 7132
Includes:
AURA 2000LL PR Strip
BOC EDWARDS NGH425100 Main chamber pump
BOC EDWARDS iQDP40 LL Pump
Microwave generator:
NATIONAL ELECTRONICS A95-045-01-E
Position: Main chamber
Gas line / Gas / MFC Make / MFC Model
1 / O2 / HONEYWELL / MIDAS-E-LEL
2 / N2H2 / HONEYWELL / MIDAS-E-LEL.
GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是專為半導體工業的先進需求而設計的高精度蝕刻器/asher。這款功能強大的蝕刻器利用蝕刻和灰燼技術的獨特組合,生產出符合最高質量和可靠性標準的電路板和集成電路。GASONICS Aura 2000配備了多種高端特性,以確保最佳蝕刻/灰燼性能和效果。其超高分辨率光學設備每英寸分辨率可提供高達25,000條線,使其在蝕刻和灰度處理過程中達到最高精度。該系統還利用石英和電離氣體室對復雜電路模式進行精確蝕刻,並利用高壓蝕刻室對金屬進行清潔和蝕刻。NOVELLUS Aura 2000還具備多種先進的物料處理能力。其高速晶片處理單元可以快速高效地裝卸設備,而其先進的基於機器人的晶片分選器則提供精確的移動和放置。此外,其基於輸送機的輸送機能夠準確交付和處理多達1,000個I/O端口的集成電路。最後,Aura 2000設計了一系列安全功能,以確保最佳操作條件。它的雙控制器模塊能夠監測和監督多個過程運行,各種傳感器提供有關工具環境狀況的數據。該資產還采用了先進的溫度控制和高效運行冷卻模型。GASONICS/NOVELLUS Aura 2000設備是一款功能極其強大的蝕刻/灰化設備,旨在滿足半導體行業的嚴格要求。其先進的光學系統和物料處理能力使其能夠產生高質量和可靠的結果,其安全特性確保了設備的安全運行。
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