二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9247828 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是一種蝕刻器/asher，用於多種應用，如光刻、半導體器件制造、晶圓級封裝。它旨在精確蝕刻小型特征尺寸的結構,同時在蝕刻過程中保持幹凈的側壁。蝕刻過程在真空室中進行，使其成為不需要環境空氣保護層的低溫過程的理想選擇。GASONICS Aura 2000利用多種技術實現其期望的最終結果。其中包括激光誘導的等離子體蝕刻工藝、等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）工藝、離子束蝕刻和一系列下遊加工。激光誘導的等離子體蝕刻過程利用激光束和惰性氣體等離子體產生精確的蝕刻模式。它產生一條銳利、幹凈的線條,沒有邊緣粗糙度,非常適合復雜的特征。PECVD工藝允許在真空環境中低溫沈積矽氧化物和其他材料。這一過程非常適合創建傳統技術無法實現的困難結構。離子束蝕刻通過控制過程中離子的能量、方向和速度來微調蝕刻過程。它對高長寬比（HAR）和亞微米結構特別有效。最後,NOVELLUS Aura 2000附帶了一系列下遊工藝解決方案。這包括蝕刻後清洗、側壁鈍化、薄膜優化和材料分析。這樣可以快速、精確地控制蝕刻過程,從而獲得完美的結果。綜上所述，Aura 2000是一款功能強大的蝕刻和灰化機，旨在以小尺寸制作精確、幹凈的蝕刻圖案。它結合了激光誘導的等離子體蝕刻、PECVD工藝和離子束蝕刻，以及板載下遊加工，產生了完美的效果。