二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9247831 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是一種蝕刻器/asher設備，使用射頻（RF）電源在多個半導體晶圓中同時蝕刻和清潔特征深度。該系統可同時執行蝕刻和清潔功能,而無需基板或預處理。在蝕刻過程中，能量來源通常是由單位的磁控管產生的射頻波。在清洗過程中，使用質態氣體，例如氙氣，去除蝕刻過程中產生的爐渣顆粒。GASONICS Aura 2000機器的特點是過程控制和均勻性高，這是其先進的廣域等離子體源技術的結果。該技術確保射頻頻率均勻分布在基板上，確保均勻蝕刻和清潔。此外，它的深層等離子體源使它能夠蝕刻和清潔大於75納米的特征深度。它的超低噪聲設計也使它能夠取得成功的清潔效果，即使在非常小的特性尺寸上也是如此。此外,NOVELLUS Aura 2000還采用了多種先進技術,使用戶能夠最大限度地提高流程性能。這些功能的例子包括高速處理、高純度操作、高級硬件和軟件控制功能、高速循環時間以及遠程監控功能。利用其全面的控制軟件包,用戶可以輕松監控和調整流程參數,以確保一致的吞吐量。Aura 2000的高級設計還允許用戶根據自己的特殊需求定制工具。這種可定制性允許用戶調整氣流、射頻功率和其他參數，以達到最佳效果。此外，它的大室和先進的加熱和冷卻機制提供溫度控制，進一步優化硬件性能。總體而言,GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是一種高級蝕刻器/asher資產,具有廣泛的特性和功能。其射頻電源、廣域等離子體源以及可定制的特性使其成為蝕刻和清洗半導體晶片的理想工具。其高度的流程控制和統一性使用戶能夠最大限度地提高生產效率,而其高級硬件和軟件功能則為用戶提供了對流程的全面控制。通過使用GASONICS Aura 2000，用戶可以輕松蝕刻和清潔大於75納米的特征深度，並取得成功。