二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9247833 待售
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ID: 9247833
晶圓大小: 8"
Asher, 8"
Model no: 99-0339
Install type: Tabletop
Machine run time: 79 Hours
Wafer passes: 16448
Includes:
AURA 2000LL PR Strip
BOC EDWARDS NGH425100 Main chamber pump
BOC EDWARDS iQDP40 LL Pump
Microwave generator:
NATIONAL ELECTRONICS A95-045-01-E
Position: Main chamber
Gas line / Gas / MFC Make / MFC Model
1 / O2 / HONEYWELL / MIDAS-E-LEL
2 / N2H2 / HONEYWELL / MIDAS-E-LEL.
GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是一款高性能的化學蝕刻器/asher,為先進的研發提供最先進的蝕刻和灰燼處理能力。專為縮小設備制造工藝而設計,能夠加工直徑從0.5英寸到6英寸的基板。GASONICS Aura 2000提供了對蝕刻和灰化過程的精確控制,允許用戶精確調整功率和氣體成分,以達到理想的效果。這種靈活性得到了先進的過程控制技術的支持,允許用戶在蝕刻和灰化過程中監視過程參數。NOVELLUS Aura 2000的高級設計最大限度地減少了蝕刻和灰化所需的時間。高精度噴嘴組件、先進的工藝控制技術、快速的點火時間以及支持大直徑晶片的能力,使其成為許多應用的理想蝕刻器/粉碎器。Aura 2000也是高度可重複的,因此使用者可以自信地在多次通過中重現相同的結果。GASONICS/NOVELLUS Aura 2000還具有先進的鎖載技術,確保晶圓免受汙染。它提供光學光眼感測和工藝自動化,並有一個可調的鎖載室,以適應不同尺寸和形狀的晶圓基板。GASONICS Aura 2000專為高效操作和易用性而設計。它具有直觀的圖形用戶界面(GUI)和圖形過程監控,允許用戶快速調整蝕刻和灰化參數,以達到所需的效果。對於那些可能需要將蝕刻器/asher從一個位置移動到另一個位置的人來說,它的重量低是一個額外的好處。總體而言,NOVELLUS Aura 2000是一款高性能的蝕刻器/asher,它通過先進的工藝控制技術提供最先進的蝕刻和灰燼處理功能。它提供了快速的發射時間、可重復性以及容納大型基板的能力,使其成為各種先進研發應用的絕佳選擇。
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