二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000 #9313666 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是一款為半導體、MEMS和納米技術行業提供高精度、高通量ashing的蝕刻器/匯編器。GASONICS Aura 2000在最具挑戰性的情況下提供了出色的蝕刻性能,其廣泛的加工窗口允許生產世界上最先進的結構。這種最先進的設備旨在為晶圓和封裝設備的拉伸、蝕刻和剝離提供最高水平的靈活性和成本效益。NOVELLUS Aura 2000配備了廣泛的功能，以確保蝕刻應用過程中的精度和可重復性。它提供各種標準氣體混合物，包括氧氣、HBr、CHF3，從中可以校準蝕刻時間和蝕刻速率。它具有簡單的命令界面，允許用戶在蝕刻過程中輕松更改設備參數並選擇合適的時間、壓力和溫度。它還具有預熱保護能力，以保護工藝設備免受熱衰減，同時提高蝕刻速率和質量。Aura 2000采用專利氣體噴射系統構建,可實現無故障噴射-允許以最小的氣體消耗實現非常快速的吞吐量。它配備了兩個灰燼，一個低溫灰燼和一個高溫灰燼，以最大的靈活性。在細膩結構的蝕刻過程中,低溫可實現高精度和重復性,而高溫則可實現高蝕刻速率的快速吞吐量。Aura附帶了一個小尺寸的矽膠樣品，允許用戶立即開始蝕刻。GASONICS/NOVELLUS Aura 2000旨在滿足最高的行業安全標準,並具有經過認證的外殼,可確保免受有害氣體流動的影響。該系統還具有自動速度控制和氣體隔離，有效控制蝕刻操作。此外，利用惰性大氣進行晶片保護可最大限度地減少缺陷的形成，同時最大限度地提高產品產量。所有組件都安裝在單個機箱中,以確保易於維護和卓越的可靠性。GASONICS Aura 2000為用戶提供了靈活性、便利性、可靠性和成本效益,使其成為市場上最大的蝕刻器/組裝商之一。它獨特的特點，堅固的結構和精密的設計使它成為任何半導體，MEMS和納米技術應用的絕佳選擇。