二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #293605212 待售
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GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是一款高性能的等離子體蝕刻器/asher，設計用於晶圓制造中的多種工藝。GASONICS Aura 2000采用高真空（HV）等離子體技術,通過提供高離子能量和高效清潔工藝室,實現了基板的超快速蝕刻和灰化。此蝕刻器可處理直徑最大為12英寸的基材,加工溫度最大為1000 °C。NOVELLUS Aura 2000具有多種特性，使其成為蝕刻師和占領者中的佼佼者。其專有的Ultra-High-Density Plasma技術允許有效的蝕刻和灰分速率,與其他蝕刻系統相比,該工藝時間減少了20倍之多。這意味著Aura 2000可以處理各種蝕刻類型的復雜過程，包括反應性離子蝕刻（RIE）和幹等離子體蝕刻。超快的蝕刻速度加上沈積前化學鈍化晶片的能力，意味著GASONICS/NOVELLUS Aura 2000可以提供一致的性能，同時降低工藝成本。GASONICS Aura 2000強大的真空室和高性能控制系統有助於降低與維持持續超高真空環境相關的間接費用。此外，先進的光學系統允許操作員使用直通查看窗口實時觀察過程，從而實現快速準確的故障排除。NOVELLUS Aura 2000利用自動化和靈活的配方來確保各個工藝步驟之間的可重復性，使其在重復晶圓工藝步驟的同時保持一致。Aura 2000聲稱其分辨率優於4nm,使其能夠為您的蝕刻和灰燼工藝帶來更高的精確度,並實現納米材料以及常規和數字圖像增強。蝕刻還包括一個先進的密封，允許更高的工藝速度和產量由於減少氧化和汙染。GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是一款尖端的等離子體蝕刻器/asher，可以處理直徑12英寸的各種晶圓基板尺寸。它具有專有的超高密度等離子體技術,可實現更快的處理,堅固的真空室可用於高效維護,先進的光學設備可用於實時監控,以及自動化和靈活的可重復性配方。其密封和高性能控制系統有助於降低開銷成本,其分辨率比4nm高。GASONICS Aura 2000保證提供最佳的蝕刻和灰分工藝,同時降低間接費用。
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