二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #293605214 待售
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GASONICS/NOVELLUS Aura 2000是蝕刻器/asher的理想蝕刻和清潔半導體晶片。它是完全自動化的,具有用於介電工作的手動覆蓋功能。液晶屏用於所有設置、編程和過程控制。該單元有兩個完全獨立的同時處理蝕刻器，以及兩個快速並行處理的過程室。GASONICS Aura 2000的特點是有一個反應堆室，設計用來容納多達四個尺寸達200毫米的各種晶片，以及具有特殊幾何形狀的樣品。它配備了強大的射頻感應發電機，由可調節頻率的數字電源驅動，允許精確控制等離子體蝕刻過程。電感還能夠驅動可根據工藝需要調諧的單頻線圈或雙頻線圈。NOVELLUS Aura 2000還配備了被稱為多功能RF-Ready Beam Creel的高精度鋼包或船送貨設備。這個先進的系統能夠精確地輸送蝕刻劑、化學品和其他反應物。托盤上裝有射頻探針，用於晶圓的精確定位和蝕刻劑的精確輸送。Aura 2000還有一個集成的多氣體輸送裝置，用於精確的流量控制和快速分析。這臺機器可以完全自動化的一個或多個氣體輸送，允許精確的控制和多模配方的靈活性。GASONICS/NOVELLUS Aura 2000與一系列工業標準等離子體蝕刻工藝完全兼容，包括基於硫酸鹽的沈積、濺射沈積、反應性離子蝕刻、氣體去除和汙染蝕刻。其先進的工藝腔室設計確保了在任何時候都能精確而均勻的腔室溫度，使其成為各種蝕刻和清洗工藝的理想選擇。最後，GASONICS Aura 2000具有多項安全功能，例如內置數字控制工具和安全鎖，確保只有經授權的人員才能進入該單位。該資產還具有四個級別的緊急停止能力，使操作員在發生緊急情況時能夠快速、安全地做出反應。該單元還包括一個先進的診斷模型，在發生緊急或異常操作時可以生成詳細的報告和警報。
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