二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #293658974 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000LL是一種蝕刻器/asher，設計用於處理廣泛的材料，包括矽、金屬、復合半導體材料和光抗蝕劑。設備具有先進的蒸氣相蝕刻能力，實現了微電子、生物醫學、機械應用材料的高性能加工。GASONICS AURA 2000LL 蝕刻器/asher利用低壓射頻氣體對導電材料和非導電材料進行精確蝕刻，同時保持極好的均勻性和吞吐量。它還利用先進的診斷和過程控制系統來確保過程的可重復性,並在整個過程中保持準確性。該機器適合專業用戶和業余用戶的需求，具有自動化和手動調諧功能，為新手和經驗豐富的用戶提供簡單易行的操作。該機由加工室和蝕刻氣體輸送系統兩個模塊組成。主室能夠接受直徑最大為5英寸的晶片，並有一個完全凹進的擴散板，以最大限度地提高整個表面的蝕刻均勻性。氣體輸送單元設有數字壓力控制功能，允許通過氣體流量調整進行精確蝕刻。集成的控制系統允許對所有蝕刻參數進行完全控制和可視化,從而可以更輕松地設置和簡化實現最佳蝕刻結果的過程。這與內置的單點檢測機相結合，該機連續監視蝕刻過程，並產生指示蝕刻進度的讀數。NOVELLUS AURA 2000 LL 蝕刻器/asher是一種高度精確、可靠和生產性的工具,適用於廣泛的蝕刻應用。其卓越的過程控制功能提供了一種簡單準確的方法來實現一致的結果,而其直觀的用戶界面使其易於使用。該機適合任何需要高精度蝕刻的應用，其低維護和經濟實惠的設計使其成為任何大小操作的理想選擇。