二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #293749487 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000LL是一種先進的高生產率蝕刻器/asher,用於處理半導體制造中的超淺結和口袋尺寸。它旨在使關鍵尺寸能夠快速準確地蝕刻/粉刷,並具有很高的可重復性,因為該工具非常快速和精確。該設備利用最新的材料和先進的工藝模塊,提供卓越的性能和效率,並盡可能減少停機時間。600毫米的壓板尺寸可確保最大吞吐量,而晶片的快速加載和卸載可實現連續蝕刻/灰分過程。該系統包括一個100 kW的發電機，該發電機為腔室和定子單元供電，以便更快、更均勻的蝕刻/灰燼處理。GASONICS Aura 2000LL配備了一個集成工藝站，設計用於各種材料的蝕刻/灰分處理，包括III-As、SiGeGe和高K介電材料。該站還可以進行單、多堆棧蝕刻/灰燼操作編程。該加工站具有高度自動化、低噪聲的特點,旨在最大程度地減少操作員的疲勞並提高生產率。NOVELLUS AURA 2000 LL配備了業界領先的Elliptigo電源，為最快的蝕刻/灰燼工藝提供可變功率設置，以及確保嚴密過程可重復性的閉環過程控制機。該工具還包括一整套診斷和控制功能,以最大限度地提高工具性能和數據分析。此外,GASONICS/NOVELLUS AURA 2000 LL與電容耦合（CPP）等離子體源集成,可獲得優異的蝕刻/灰分結果。雖然CPP等離子體源確保了最佳的蝕刻/灰分結果，但它也提供了最大的整體過程控制和效率，因為源既易於調諧又高度穩定。總體而言,NOVELLUS Aura 2000LL是一項先進的蝕刻/灰燼處理資產,可提供卓越的蝕刻/灰燼處理效果,並具有最大的吞吐量、精確的控制和高重復性。GASONICS AURA 2000 LL是一種頂級的蝕刻/灰化工具,可確保高質量的結果和高效的操作。