二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #9113641 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000LL是一種用於先進制造的蝕刻器/灰度設備,可提供精確的生產和高吞吐量。其設計目的是為半導體晶圓制造提供可靠的高密度等離子體（HDP）工藝。這個最先進的系統是完全自動化的過程日誌，報警，和一個用戶友好的觸摸屏簡化操作。GASONICS Aura 2000LL采用先進的HDP技術以提高精度。可變壓力單元有助於最大限度地發揮處理過程的能量潛力，同時保持一致的等離子體環境。此外，該機采用了改進的清潔處理方法，減少了缺陷，提高了產量。該工具配備了全面的檢測和無缺陷功能，以實現更好的產品質量和過程穩定性。其先進的實時故障檢查確保了平穩運行和快速報警響應。此外,配方會隨著流程參數的變化而自動優化和調整,而集成視覺資產則利用高級流程監控和檢測。該模型還具有先進的機械設計和先進的塗層能力,以提高精度。先進的自動晶片輸送設備可確保產品流暢,而低質量設計可減少劇烈振動。此外，它處理各種晶片和基材的能力使它成為一種用途廣泛且可靠的工具，可以執行各種任務。NOVELLUS AURA 2000 LL是一個功能強大且可靠的蝕刻/asher系統，用於先進的半導體制造操作。其先進的HDP技術、全面的檢測和無缺陷功能、強大的配方優化功能以及先進的機械設計,為各種任務提供了精確的生產和高吞吐量。