二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #9145302 待售

GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL
ID: 9145302
晶圓大小: 8"
Ashers, 8".
GIBAR GASONICS/NOVELLUS Aura 2000LL是一款高級蝕刻器/asher,旨在完成各種任務。該2000LL在每個部門都具有很高的特征數,包括晶體生長和陣列生成功能、電容調制和離子束加速度。GASONICS Aura 2000LL占地面積小、精度高,每次都能提供統一、高性能的結果。該2000LL采用集成的、符合VME標準的微處理器設備,可快速控制過程參數,從而增強性能和系統控制。機器還提供各種真空水平和溫度。該2000LL可用於金屬和其他材料的幹蝕刻、濕蝕刻、濕光刻劑去除、蝕刻清洗和圖樣沈積。2000LL的緊湊設計相對用戶友好-提供符合人體工程學的設計元素、快速釋放端口和可調節的傾斜功能。可移動電池板選項可方便地在作業之間轉移單元部件,而高效的氣體和墨盒供應機可減少操作員裝載和清潔材料的時間。NOVELLUS AURA 2000 LL還提供了多種先進的光束監控功能,如三軸光束聚焦、用於3D輸出控制的功率控制模塊以及光波形監控。此外,2000LL的變頻驅動器輸出選項確保了對基板溫度和機器工藝設置的嚴格控制。GIBAR GASONICS/NOVELLUS AURA 2000 LL是一款先進的蝕刻器/Asher,其設計目的是提供各種材料的精確度和一致性。其集成的微處理器、可調光束特性、多軸光束聚焦以及波形監控功能,使其成為尋找精密、易於使用、精確、可靠的蝕刻和灰化工具的用戶的理想選擇。
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