二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 2000LL #9227352 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 2000LL是一款最先進的蝕刻器/asher，旨在滿足半導體行業最苛刻的要求。此蝕刻器/asher利用創新的專有氣體拓撲和分布式處理功能,使用戶能夠獲得更高的吞吐量和卓越的設備性能。憑借其先進的加工能力，GASONICS Aura 2000LL提供了最高的收益率和一流的品質。NOVELLUS AURA 2000 LL圍繞高功率、高性能的蝕刻器/asher頭設計。這提供了當今最精確的設備所需的毫米級精度。先進的蝕刻器和asher腔室效率很高，能夠將離子從蝕刻器有效地轉移到asher並再次返回。這有助於縮短周期時間,並在長時間的流程運行過程中提供一致的結果。Aura 2000LL還提供了一系列高級功能,使用戶能夠精確控制蝕刻和灰化過程。它的高級過程控制功能允許用戶為特定應用程序定制蝕刻/分類器,幫助提高分析精度並提高設備產量。該設備還配備了先進的等離子體發射監測（PEM）系統，使用戶能夠實時監測蝕刻過程。這有助於確保完美的設備性能和產量。AURA 2000 LL利用先進的氣體輸送裝置來精確控制蝕刻/收集器。它允許用戶為每個蝕刻/分離器定制氣體速率，幫助確保一致的、可重復的結果。高級軟件平臺可幫助用戶快速優化流程設置。GASONICS/NOVELLUS AURA 2000 LL每小時最多可處理60個晶圓，設計為在多種工藝條件下執行。總體而言,GASONICS AURA 2000 LL是一款創新的蝕刻/asher機器,旨在滿足當今要求最苛刻的半導體應用的需求。憑借其先進的特性和功能,NOVELLUS Aura 2000LL為用戶提供了無與倫比的精確度和性能。