二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 3010 #293598156 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 3010是一款用於先進技術應用的精密蝕刻器/asher。其設計和強大的功能使GASONICS Aura 3010成為在材料工程和蝕刻/粉刷應用領域中使用的重要工具。該設備可輕松處理薄膜、蝕刻和退火等多種應用。NOVELLUS Aura 3010能夠操縱步進解析度為10um的精密零件，並可配置高達8-5軸級的精密X-Y、Z、旋轉運動。該單元還配備了用於精確溫度控制和蝕刻輪廓控制的先進軟件和自動化控制。光環3010有多種熱源可供選擇，使其可以處理一系列材料。這些包括結構金屬、聚合物和光學堆積的薄膜。此外，該單元還可以配置多種面具，包括單級和多級，使其適合於各種陣列處理。GASONICS/NOVELLUS Aura 3010的設計也允許對工藝參數進行詳細的控制。這包括控制溫度、壓力和反應室大小，以及改變目標材料厚度以產生精確蝕刻/灰度輪廓的能力。GASONICS Aura 3010還配備了廣泛的輸入和輸出選項。其中包括以太網、USB和集成軟件,以便於數據傳輸。此外，該單位還包括各種流程報告職能，用於審查流程參數和結果。總體而言,NOVELLUS Aura 3010是一款先進的蝕刻/asher,能夠精確處理薄膜和結構材料。其設計支持精確的溫度控制、掩蔽能力以及廣泛的輸入和輸出選項。所有這些使其成為許多材料工程應用中的理想工具。