二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 3010 #293752958 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 3010是一種用於半導體制造工藝的幹蝕刻/asher工具。它是一種單晶片、單室系統，能夠利用工藝氣體在半導體晶片上選擇性蝕刻和各向異性蝕刻高長寬比結構。GASONICS Aura 3010能夠使用包括Ar/CF4/CHF3、Ar/O2、Ar/H2/H2O和Ar/CF4/O2在內的各種工藝氣體。它具有Ultima™的濺射源，能夠利用反應性離子蝕刻（RIE）和物理濺射來蝕刻或沈積薄膜。2-D陣列生成器用於創建高長寬比特征,並且可以使用該工具創建尺寸可達50 nm的特征。它還具有2-D全局查看器/磁控管監視器，用於檢查蝕刻過程中的圖樣特征和均勻性。刀具的預洗凈退火室用於在蝕刻之前對蝕刻反應室進行退火和清洗。它還包含射頻（RF）偏差，以降低蝕刻選擇性和改善蝕刻輪廓。實時控制系統允許用戶監控、更改和優化蝕刻參數，以最大限度地提高蝕刻均勻性，最大限度地減少蝕刻損傷。還集成了壓力、溫度和低溫冷卻電容器，以提供精確和可重復的溫度控制。集成等離子體系統的可調晶圓溫度控制範圍為10-100 °C。它還具有頻率響應，可以更好地分布晶圓上的能量沈積，提高等離子體均勻性。此外，該工具還具有減少不穩定蝕刻過程中射頻功率脈沖的功能，從而提高了工藝均勻性。NOVELLUS Aura 3010消除了使用多個處理系統在半導體晶片上刻蝕緊特性和高長寬比的需要。它是最苛刻的半導體工藝的絕佳工具，提供快速、可靠、可重復的處理，具有較高的蝕刻速率和選擇性。