二手 GASONICS / NOVELLUS Aura 3010 #9111883 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura 3010是一款為半導體晶圓加工而設計的高級蝕刻器/asher。利用先進的真空、腔室和工藝材料的獨特功能,以及獨特的原位表面清潔方法,它提供靈活高效的反應能力,可通過多個蝕刻/灰燼堆棧進行處理。此外,系統還配備了一系列集成的光學、聲學和熱傳感器,可確保精確執行過程配方,並可監控腔室的存在、熱梯度和曝光時間。其結果是一個非常強大的蝕刻/asher與各種不同的工藝配方anda廣泛的工藝時間。GASONICS Aura 3010具有超高真空室,可為晶圓加工提供清潔和受控的環境。通過高端真空技術和先進材料的結合開發，這種先進的腔室提供了低溫、低汙染的蝕刻/灰燼環境。此外,它的單晶片工藝負載鎖定結構使腔室與周圍區域完全隔離,並將汙染減少到一定程度,從而確保一致的高質量處理結果。NOVELLUS Aura 3010進一步配備了一套先進的製程工具，例如蝕刻/灰通量器，以及提供高效率晶圓均勻性的無槳、無吹掃、超高可靠性、熱梯度控制。其先進的光學系統也被設計為降低濺射速率和最大化蝕刻均勻性。此外，它的控制器可以自動控制原位清洗和晶片加載，以盡量減少操作員暴露時間。最後,Aura 3010能夠提供多種蝕刻/灰分工藝配方,包括單步蝕刻、雙步蝕刻、後蝕刻、組合蝕刻、後蝕刻/灰分、快速蝕刻、鈍化蝕刻和間隙填充等。這使得它可以處理各種晶圓尺寸、材料和厚度。其加工時間的總範圍也進行了微調，以適應半導體行業不斷變化的需求。因此，它能夠提供超短的處理時間，增加吞吐量，減少缺陷和優異的產量。