二手 GASONICS / NOVELLUS Aura #293824587 待售
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GASONICS/NOVELLUS Aura是一款先進的蝕刻和asher設備，設計用於中高容量生產集成電路。它利用獲得專利的雙工藝過程,結合了多種工藝技術,為各種材料、幾何形狀和特征尺寸提供卓越的效果。GASONICS Aura可以以高分辨率處理介電層和金屬層，需要最小的加工室和硬件。它采用了低密度和高密度等離子體的創新組合，以產生低缺陷水平和經濟效益的高質量。NOVELLUS Aura提供了全方位的功能以實現高質量的效果。這些功能包括卓越的過程控制、低壓操作以實現最佳的電氣性能,以及用於快速故障排除的工具診斷。系統還具有許多高級流程參數,使用戶能夠自定義蝕刻和灰化流程以滿足其應用程序的特定需求。這包括蝕刻速率、功率密度、屏幕尺寸以及利用多種工藝配方確保最佳結果的能力。此外,該單元還具有內置的優化程序保存和自定義宏編程功能,使用戶能夠根據需要自定義配方。光環能夠產生精確和精確的特征尺寸,同時仍然能夠處理各種材料、幾何形狀和特征尺寸。這為各種應用程序提供了更大的靈活性和改進的結果。該機具有用戶友好的界面，采用了具有工藝和設備狀態顯示、自動記錄保存和先進機器控制功能的觸摸屏技術。這使得工具的設置和操作容易得多，提高了效率。GASONICS/NOVELLUS Aura與我們的許多其他產品兼容,包括後處理系統、掩蔽系統和計量工具,從而降低了與擁有多種處理工具相關的成本。此外,公司還提供經驗豐富的客戶服務和技術團隊的持續維護、培訓計劃和支持。
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