二手 GASONICS / NOVELLUS Aura #9238515 待售

GASONICS/NOVELLUS Aura是一種蝕刻器/asher，通常用於半導體生產行業。它能夠處理功能小至0.15微米（150納米）的元件。該機器提供卓越的圖像質量、可靠性和生產率,使其成為生產具有精確微圖案的精密產品的理想選擇。GASONICS Aura系統的基本單元稱為PECVD處理器，最多可安裝兩個腔室。在每個腔室內，組件通過充滿氣體的真空容器，提供反應性氣體和高射頻源的混合物。射頻源產生蝕刻（或灰化,非矽材料）所需的等離子體,而不會降低基板及其特性。每個腔室都裝有一個移動級，通過蝕刻加工室裝載和卸載晶片。NOVELLUS Aura系統還具有先進的設計自動化和精密的算法控制，以確保可靠和可重復的過程。該系統具有調整蝕刻時間和氣流、坡道功率水平的能力，提供了高精度和對交付蝕刻速率、均勻性等參數的更好控制。光環專為高吞吐量和高產率而設計,使其成為要求最苛刻的生產環境的絕佳選擇。它在晶片和批次上的蝕刻均勻性使得它非常適合廣泛的應用，包括IC器件制造、MEMS和先進的半導體封裝。GASONICS/NOVELLUS AURA是那些需要精確、可重復蝕刻以完成最艱巨工作的人的理想解決方案。其復雜的設計自動化和算法控制提供了極致的性能和可靠性。借助GASONICS Aura,客戶可以放心地獲得具有可重復性能和卓越性價比的優質組件。