二手 GASONICS / NOVELLUS Iridia #293659761 待售
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已售出
ID: 293659761
晶圓大小: 8"
優質的: 2005
Asher, 8"
Dual chamber
Gas supply:
Left and right chamber gas box:
Gas name / Range / Connection size
CF4 / 200 SCCM / 1/4" VAC Male
N2 / 500 SCCM / 1/4" VAC Male
O2 / 500 SCCM / 1/4" VAC Male
HE / 2 SLPM / 1/4" VAC Male
NF3 / 20 cc / 1/4" VAC Male
O2 / 50 SCCM / 1/4" VAC Male
Purge N2 / - / 1/4" VAC Male
Cassette unit:
Cluster PCM
YASKAWA XU-CM 4730 Robot controller
Chamber unit:
(2) Left and right PCM
(2) 95-3798 MISC Controllers
(2) 02-168304-00 Gas controllers
(2) 95-3154 M/W Controllers
(2) Lamp controllers
(2) EUROTHERM 818S Temperature controllers
(2) NIKON M680 Temperature controllers
(2) ENI ACG-6B RF Generators
(2) MKS MWH-5 RF Matchers
(2) MKS MWH-R RF Matcher boxes
(2) MKS 600 Series Pressure controllers
(2) MKS 638B-2-50-2 Pressure valves
Chambers:
(4) PCW QC6 Connectors
(2) VAC ISO 80
(2) CDA 3/8" SWG Male
Missing parts:
YASKAWA XU-RCM 4700 Robot
(2) ASTEX D13765 M/W Generators
Power supply:
208 V, 50/60 Hz, 150 A, 3 Phase, 5 Wires
2005 vintage.
GASONICS/NOVELLUS Iridia是半導體製造業所使用的先進蝕刻和灰化設備。它是一個全自動系統，提供對用於生產半導體芯片的光刻膠、金屬和其他材料的高精度處理。該設備采用了業界最新的多模等離子體蝕刻和CVD工藝技術，能夠在各級芯片開發中更快地處理復雜的圖樣和更嚴格的尺寸公差。GASONICS Iridia機具有多項創新，有助於最大限度地提高半導體芯片產量並提高吞吐量。它使用單源蝕刻/灰分工藝,將關鍵蝕刻和沈積工藝合並到一臺機器中,以減少多階段處理所需的昂貴的設置更改。它還具有直接采樣現場診斷工具和實時數字反饋,以實現最大程度的過程控制和改進的工具正常運行時間,以及自動負載室平衡能力和改進的晶圓均勻性,以實現更精細的特征控制。NOVELLUS Iridia資產提供多種蝕刻配置，用於優化特征分辨率和選擇性。它的自動化系統可實現精煉設備結構的工藝優化和更快的坡道提升時間,並且其可選的負載鎖定模型可提供快速的基板導入和移除,從而提高工藝穩定性和吞吐量。該設備還允許定制基板配置和裝載，允許用戶最大限度地提高生產靈活性，並根據個人需求定制系統。虹膜的設計具有最佳的穩定性、吞吐量和多功能性，使半導體制造商能夠推動薄膜技術的發展。該單元提供的功能能夠在要求最苛刻的半導體環境中處理復雜的三維結構和亞微米幾何形狀。所有這些都有助於提高產量和提高過程穩定性,從而允許在較短時間內生產更高質量的芯片。
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