二手 GASONICS / NOVELLUS L 3200 #9083205 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3200是一款高科技蝕刻器和asher，設計用於精確可靠的蝕刻和灰分半導體晶片。該設備能夠在p型和n型半導體材料中進行蝕刻和灰化。它配備了一套接口工具、傳感器和技術,可以快速、準確地對晶片上的復雜特征進行精確、高質量的蝕刻和刻蝕。GASONICS L 3200或L 3000系列具有高效可靠的晶片夾緊靜電卡盤。利用其電極陣列，該系統提供多達13個電接觸點，以改進復雜晶圓特征的蝕刻和灰化。它可以精確蝕刻和灰燼特征大小從0.1 μ m到10 μ m。該單元配備了一臺用於蝕刻和灰化過程的氣體輸送機。它具有對加工氣體進行高效加壓的特點，以及用於控制蝕刻和灰化過程中氣體流動的先進軟件。該工具在蝕刻和粉刷小型設備或組件方面非常寶貴。在NOVELLUS L 3200中,蝕刻和灰化過程可以通過幾種不同的方式進行。它可以利用化學氣相沈積（CVD）進行蝕刻和灰化層，包括金屬和介電。此資產還可以利用等離子體蝕刻/灰化來提高表面質量和晶片上蝕刻和灰化的特征尺寸的準確性。L 3200是快速、準確、可靠地蝕刻和粉刷半導體晶片的強大工具。這款車型先進的送電設備、電極陣列、送氣系統都協同工作，確保精密蝕刻和灰化錯綜復雜的特點。該單元提供0.1 μ m至10 μ m的特征尺寸,以及在p型和n型半導體材料中蝕刻和灰分的靈活性。GASONICS/NOVELLUS L 3200具有多種功能,是制造工廠的寶貴工具。