二手 GASONICS / NOVELLUS L 3300 #9243661 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3300是一款全自動蝕刻器，旨在在基板上產生極高質量和精確的特征。這種蝕刻器提供了一種高壓、高密度的等離子體環境，能夠快速蝕刻各種材料。集成的端點檢測設備可確保超精確的蝕刻輪廓,從而提高產量和生產率。此單元的高級控制和自動化有助於確保可重復的過程結果。這是通過多種功能來實現的,例如嚴格的過程控制、內聯診斷、自動配方管理和各種等離子體配方。此外,該系統為基板加熱和冷卻提供了高效的熱源.為了加熱，使用原位石英燈在蝕刻過程中保持恒定溫度，熱量均勻分布在目標基板上。GASONICS L 3300使用脈沖等離子體電源（PPPS）生成精確而均勻的等離子體，該等離子體針對不同類型和厚度的材料量身定制。PPPS和基板之間的接口旨在最大限度地提高產量和吞吐量。PPPS提供了可調脈寬波形和自適應等離子體波形，以優化過程控制。室內還管理原位氣體，以確保最佳工藝可重復。具體來說，蝕刻器提供氧氣、Ar/CF4/CHF3、SiCl4和SF6化學品的動態流動控制。通過可調高弧銅淋浴頭和光纖淋浴頭的真空密閉室控制工藝，提高工藝均勻性。NOVELLUS L 3300能夠處理尺寸達8英寸（203毫米）的基板。這允許快速周轉時間，因為基板可以在短時間內處理，不需要額外的通路或步驟。該蝕刻器易於使用，具有用戶友好的界面，便於配方生成、單元操作和過程監控。該機器還配備了一個集成的診斷工具，有助於確保過程的可重復性。總體而言,L 3300是一種高質量、可靠的蝕刻資產,旨在提供精確、精確的蝕刻功能。以其高壓、高密度的等離子體和高效率的加熱/冷卻能力，是許多不同行業的理想選擇。它的靈活性和易於使用的特性使它成為任何需要快速可靠地精確蝕刻基板的人的絕佳選擇。