二手 GASONICS / NOVELLUS L 3500 #9227632 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3500是一款用於半導體制造行業的最先進的蝕刻器/asher。它結合了精密光刻、等離子體清洗和硬掩模蝕刻工藝的最新進展，提供了最高水平的產量和吞吐量。GASONICS L 3500有兩個蝕刻室和兩個等離子體系統，使它能夠同時處理多達兩個晶圓。它還有一個真空密封蓋，允許收集蝕刻工藝的任何副產品，如銅蝕刻產品。NOVELLUS L3500采用了GASONICS專利的脈沖等離子體技術，該技術使用聚焦、高密度、微秒持續時間的等離子體脈沖在蝕刻前對材料表面進行清潔。此過程會在蝕刻開始之前清除任何雜質或缺陷,從而確保最終產品非常幹凈且無缺陷。此外，L 3500還具有定制的調節等離子體化學的中氣流系統，使其能夠處理各種薄膜。有了這個系統，GASONICS L3500可以蝕刻金屬、聚合物、電介質甚至矽化物。NOVELLUS L 3500配備了NOVELLUS專利的PFZ軟件，它允許用戶對蝕刻過程進行編程和監控，具有準確性和控制性。它還具有直觀的圖形用戶界面，允許用戶快速、輕松地設置蝕刻參數並監控其進度。L3500提供卓越的最終產品質量。其先進的腔室設計確保蝕刻目標在加工過程中不受汙染，造成極低的缺陷率。這使得它能夠滿足半導體行業最嚴格的質量要求。此外,GASONICS/NOVELLUS L3500還具有先進的蝕刻均勻性控制功能,確保所有蝕刻材料保持在其指定尺寸內。總而言之，GASONICS/NOVELLUS L 3500是為半導體制造行業設計的先進蝕刻器/asher。它提供了脈沖等離子體清潔、可調等離子體化學和用戶友好的PFZ軟件的組合,以實現最終產品控制和準確性。由於其先進的設計，GASONICS L 3500極為可靠，產生了高精度、無缺陷的終端產品。