二手 GASONICS / NOVELLUS L 3500 #9235158 待售
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GASONICS/NOVELLUS L 3500是為化學機械平面化（CMP）工藝而設計的高端蝕刻/灰燼設備。它在易於使用的系統中提供高性能、流線型的操作員控制和出色的過程一致性。該設備在長時間的運行中提供了最高的可重復性和可靠性,並為各種濕法和幹法蝕刻/灰化應用程序提供了最佳的工藝控制。GASONICS L 3500配備了兩軸機械臂，為模具機器人定位提供精確、可重復的運動。該臂可用於對齊平臺上的工具。該機還利用基於GASONICS微處理器的實時自適應控制來確保最高的蝕刻/灰化性能。它與一個高性能的機械臂控制器結合在一起，能夠精確定位和定位一個或多個機器人在任意角度範圍內，速度高達每秒10次（sps）。為確保整個晶片表面的工藝條件一致,該工具利用了多區域視區除塵資產,該資產允許對視圖中每個區域的工藝條件進行特定調整,從而實現工藝優化和對齊。此外,該型號還配備了自動除水功能,通過在晶圓蝕刻之間重置平臺自動保持蝕刻/灰分均勻性。這有助於減少每次蝕刻中的錯誤,從而在晶圓上形成一致的蝕刻輪廓。NOVELLUS L3500還設計了一致的性能和高工藝產量。設備結合了多區控制、晶片級和工藝級參數，以及實時報警監控。此外,該系統還提供了一個機器人集成的模具視覺,可實現高吞吐量、高精度對準和可重復性。總體而言,NOVELLUS L 3500是用於CMP工藝的高級、可靠、高性能的蝕刻器/Asher。它為高產蝕刻/灰化提供了高精度和重復性。該單元具有高度的可配置性和多功能性,可針對各種流程和應用程序進行調整。憑借其先進的特性和功能，這臺機器是最具挑戰性的CMP應用的理想選擇。
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