二手 GASONICS / NOVELLUS L 3500 #9235159 待售
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GASONICS/NOVELLUS L 3500是一款先進的蝕刻器/asher，專為高通量、快速沈積和精確原子層沈積而設計。它能夠在高吞吐量下達到3-5納米的精度。該系統配備了基於真空的工藝室、大功率射頻等離子體源和原位晶圓檢測裝置。真空加工室為加工基板提供了超高真空環境。它配備了氣體分配系統，可以精確控制工藝大氣，使一系列材料能夠被蝕刻或粉刷。該工藝室還包括主動抽水，以維持10-6 Torr的真空水平。射頻等離子體源能夠在一定功率範圍內產生非常高功率的等離子體。這使得從金屬到電介質的各種材料都可以被蝕刻或粉刷。該系統還包括對等離子體功率和頻率的精確控制，使操作員能夠將過程與所需的應用相匹配。原位晶圓檢測裝置允許對蝕刻或粉刷表面進行實時檢測。這樣可以確保不同尺寸和材料的基板得到一致的結果。該裝置包括多種測量溫度、壓力等參數的傳感器，GASONICS L 3500還包括用於操作和管理配方和參數的軟件，以確保過程結果一致。總體而言,NOVELLUS L3500是一種功能強大、精確且高通量的蝕刻器/蝕刻器,非常適合各種沈積和蝕刻過程。它具有很高的可靠性，易於操作，設計用於處理一系列具有高精度和吞吐量的材料。
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