二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #293586002 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一款高精度的高級全向選擇性感應耦合等離子體（ICP）蝕刻器或asher。它是一種大面積幹蝕刻工具，專門設計用於在各種材料制成的基板的選擇性和全向蝕刻方面提供卓越的性能。它也被用於加工包括矽、安替莫尼和銨、磷化銨在內的多種材料和薄膜。GASONICS L 3510被認為是同級中最快的蝕刻機之一。它利用通過射頻（RF）發生器產生的電感耦合等離子體。這允許在整個晶片上進行有效和均勻的蝕刻。該工具具有獨特的氣霧攜帶罩，均勻分布蝕刻氣體在整個表面的晶圓基板。此外，NOVELLUS L 3510利用一個混合離子子組件，同時引導離子束和一個來進行高度柔性蝕刻的基於​​的離子束等離子體在晶圓表面上。L 3510配備了高級流程和計算系統，實時監控和控制蝕刻流程。主控制面板具有前端用戶界面和後端系統。前端用戶界面使用圖形用戶界面（GUI）技術顯示各種流程參數，允許用戶調整設置。後端系統反復測量和記錄關鍵過程數據,以優化配方並確保高度可重復、一致的蝕刻過程。GASONICS/NOVELLUS L 3510具有多個ICP源和一個內置晶片卡帶加載系統，用於快速晶片處理。此外,該工具可自動用於串聯生產應用程序。獨立的數據集中器可以將所有流程數據轉發到主機計算機進行遠程監控和操作。這樣可以提高過程控制和靈活性,並提高操作效率。GASONICS L 3510是一款多功能、先進的蝕刻器和asher，提供出色的晶圓級圖案和選擇性蝕刻能力。此工具旨在提供卓越的性能,使用戶能夠實現高蝕刻一致性和極小的功能尺寸。因此，它是半導體、太陽能電池和平板顯示器行業制造的理想工具。