二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #293595737 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510 蝕刻器/asher是一種先進的高通量幹式蝕刻設備,具有更高的工藝控制和更高的生產率。該系統被設計用於廣泛的應用，如矽、氮化物、金屬和有機材料。GASONICS L 3510單元的可靠性是基於GASONICS和NOVELLUS的綜合經驗和技術。NOVELLUS L 3510 蝕刻器/asher依靠經驗證的蝕刻技術，包括感應耦合等離子體（ICP）源和準分子（深紫外線）激光器，來蝕刻和清潔基板。它有一個提供足夠靈活性蝕刻不同材料的工藝室，並有一個內置的真空機，創造一個超高真空環境。蝕刻器/灰化器能夠以高通量速率蝕刻材料的薄膜，如矽或氮化物。原位電容電壓（CV）監視器允許實時過程控制,以確保均勻蝕刻。此外，平臺先進的溫度控制和氣體分配工具允許精確的溫度和氣體分配。L 3510 etcher/asher由一套軟件支持,使用戶能夠快速選擇和優化配方,從而提供增強的用戶體驗。用戶可以根據應用程序的要求創建配方和修改參數。圖形用戶界面（GUI）界面對用戶友好,允許直觀操作。GASONICS/NOVELLUS L 3510 蝕刻器/asher是電子、光子學和半導體行業多種應用的絕佳平臺。它具有可提供高精度和可重復性過程的PLC控制,而介電恒定監控器（DFM）和真空監控器（VTM）系統提供了出色的過程控制和監控能力。該資產非常適合各種晶圓清洗和蝕刻應用，如去除熱生長的氧化物和金屬的淺蝕刻。該型號在蝕刻過程中還提供了低汙染，這對諸如鋁或銀等敏感材料是有利的。由於其模塊化的設計，設備可以很容易的升級和修改，以滿足客戶不斷變化的需求。