二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #293658983 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一款先進的蝕刻/asher設備，非常適合生產先進的半導體器件。該系統具有獨立化學控制的等離子體蝕刻和灰化室.此外,它還可以實現自動化,以改進過程控制和吞吐量。該裝置的化學控制由GASONICS獲得專利的等離子體增強型直流電（DC）化學控制機驅動。該工具可確保精確控制蝕刻和灰化過程,同時最大限度地減少可變性並提高產量。它還允許用戶為廣泛的工藝選擇蝕刻化學，例如蝕刻鋁、錫和銅。GASONICS L 3510可配置各種腔室，如基板預熱模塊，以及霧化器和等離子體灰燼。基地單元還設有為遠程等離子體操作設計的前門。此資產還包括自動晶片處理組件,其中包括電動晶片防卡模塊和可選的負載鎖（不包含）。該模型支持廣泛的蝕刻和灰化工藝，包括鋁、銅、錫、鎢、聚酰亞胺、陶瓷、氮化矽和有機物等。其高處理速度，高達每小時200晶圓，非常適合大批量生產要求。此外,該設備還具有一系列環境和安全功能,如先進的過濾、自動滅火和超壓關閉,有助於確保安全和高效運行。最後，NOVELLUS L3510蝕刻機是一個功能強大且可靠的系統，非常適合生產先進的半導體器件。它提供精確的化學控制和高吞吐量,以及一系列旨在確保過程環境安全和可重復的功能。