二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9144778 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510 Asher是一款為中高通量生產應用而設計的高端自動蝕刻和灰度半導體制造設備。該系統設計用於在半導體基板上以高密度電路特征繪制光刻膠和其他幹膜層的圖樣。它能夠蝕刻低至0.20 µm的特性，具有高精度和均勻性。該單元包括兩個模塊化設計的工藝室，實現最大通風和溫度均勻性。配備了最先進的等離子體點火裝置，可以根據客戶的具體需求量身定制。混合氣源（MGS）機可引入特殊蝕刻氣體，允許采用超細蝕刻的多步工藝。溫度控制是在工藝室中實現的，其精確控制範圍在25至400°C之間。該工具帶有高速傳輸資產,並與GASONICS專有的「靈活處理模塊」集成在一起,使用戶能夠為其應用選擇最合適的流程。它還集成了一個電動基板處理程序，可以方便地裝載和卸載基板。GASONICS L 3510為最大限度地提高生產率和保護基材不受汙染,采用先進的自動化基材處理模式,並提供可選的惰性氣體集成,以保護敏感材料。設備配有全方位的過程控制功能，如自動缺陷檢測、端點傳感、過程參數監控、過程優化能力等。它還具有內置的診斷功能,以實現高效的過程穩定性和質量控制。該系統與各種晶圓尺寸兼容,最大可達12英寸。它還支持每批多達20個基板，從而實現高效的生產吞吐量。總體而言,NOVELLUS L 3510是一款高性能蝕刻器和Asher,能夠產生具有出色的均勻性和吞吐量的精細分辨率蝕刻特性。其模塊化設計和先進的過程控制特性使其成為中高吞吐量生產應用的理想選擇。