二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9244581 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510 蝕刻器/asher是一款高性能、經濟實惠的工具，旨在滿足先進技術制造商的蝕刻/灰化需求。3510是與GASONICS Systems和NOVELLUS合作開發的,它將先進的蝕刻和灰化技術結合在一個平臺上-即使是最先進和最先進的半導體器件也能實現高吞吐量和可靠的處理。3510采用了先進的射頻蝕刻技術,提供精確、均勻的蝕刻。通過步進電機對蝕刻偏置的調整，進一步增強了該工藝，允許在0.5納米的精度和重復性下進行小於1納米的蝕刻。此外,3510還可以處理50至300毫米大小的晶片,並提供高達12.7英寸或320毫米的加工能力。3510還提供了一種消除半導體表面過程殘留物的灰化工藝，從而消除了對危險化學劑的需求。該裝置采用熱增強等離子體工藝進行深、有針對性的蝕刻和灰化。通過使用直觀的GUI界面輕松控制該過程,從而提供簡單的設置和運行時方法計算。該裝置還具有先進的氣體輸送系統，可提供卓越的氣體控制和對有害化學品的均勻輸送，以及一個化學噴射器，可實現包括專有添加劑的自動循環。此外，3510還配備了通用真空系統，具有可配置的氣體分配歧管和可靠的抽水系統。GASONICS L 3510 蝕刻器/asher高度自動化,具有用戶友好的控制功能,是進行蝕刻和灰化操作的理想工具。該單元有單室和三室兩種配置,並配有多種選項和配置-使其適合各種半導體制造應用。3510以其創新的設計、卓越的性能和可靠性，是先進半導體制造的理想工具。