二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9259241 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一種高性能化學氣相沈積（CVD）蝕刻器/asher，設計用於淺層溝槽隔離（STI）應用。其特點是改善了亞四分之一微米尺寸的沈積均勻性，同時提供了較高的蝕刻速率和較低的排便。GASONICS L 3510是一種單室工具，帶有可旋轉卡盤，用於半導體晶圓加工，具有先進的超高真空（UHV）腔室設計。NOVELLUS L 3510配備了變頻射頻源、兩個獨立的等離子機、一個可配置的多探針加載系統（MPLS），以及一個用於空間位置控制和精確微調的高速內部激光幹涉儀。L 3510中的高度自動化控制器提供精確的氣體流量和溫度控制,並提供全面的過程診斷功能,以確保晶圓的高效處理。GASONICS/NOVELLUS L 3510具有向基板精確輸送工藝氣體的能力，其提高的精度和位置控制使其能夠在較低的壓力和溫度範圍內運行。腔室設計允許處理高達200毫米的晶片,在大面積設備的整個基板表面上,其特征尺寸變化低至500埃,均勻度為0.25 nm。GASONICS L 3510提供了幾個功能，提供了最高的蝕刻選擇性和改進的性能。它具有平行的背面帶源、改進的底部帶源和改進的衛星源。這樣可以實現更好的可重復性和更高的吞吐量。具有圖形用戶界面（GUI）的復雜循環計算機為配方的創建和管理提供了最終的便利和支持。總體而言,NOVELLUS L 3510是一款高級蝕刻器/asher,可提供高水平的性能和準確性。它能夠在高通量、低排便的基板上沈積薄膜，非常適合基於STI的應用。是在保持最高產量和最佳影片質量的同時提高精度和吞吐量的有效途徑。