二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9270101 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是用於MEMS、半導體和光伏應用的先進多用途蝕刻器/粉碎器。每個系統最多可處理28個晶圓,每個盒式磁帶最多可處理35個晶圓,包括200 mm和150 mm晶圓大小。GASONICS L 3510得益於優秀的並行處理能力，其中許多晶圓同時被蝕刻和灰化。它還利用智能脈沖過程和選擇性蝕刻技術來產生具有高特征分辨率的3D結構。NOVELLUS L 3510提供超過99%的正常運行時間，加上出色的濕工藝性能，通過高精度速度和加速度算法實現。此外，可以對所有進程進行全面的監測、分析和報告，所有參數都可以精確調整，以取得一系列期望的結果。L 3510旨在提供改進的冷卻能力和處理能力，同時使用CL2、O2、SF6、Ar、He和任何氣體組合的高功率和低功率源。它為所有類型的蝕刻和灰化應用提供了一個真正通用的選項,包括背面氧化物、氧化物去除、溝槽、深反應性離子蝕刻、幹蝕刻和深度控制蝕刻。GASONICS/NOVELLUS L 3510的可編程端到端處理功能允許設置和調整各種參數,為精確處理提供了靈活性。其電源可用於各種材料的蝕刻和灰化，包括二氧化矽、矽、鎢和各種金屬。GASONICS L 3510可處理170mm至300 mm尺寸的晶片。其先進的空腔和耐用的等離子體工藝，以及可編程射頻發生器，使得這種多用途系統成為許多蝕刻和灰化應用的理想選擇。加工過程隨著時間的推移保持一致和準確,其內部空間旨在改進維護過程。NOVELLUS L 3510使用GASONICS創新的Software Toolbox，它提供了高性能的實時控制，並通過I/O監控提供了過程的完全可見性。Software Toolbox還允許用戶通過將流程參數設置為多個流程來簡化自定義過程參數,從而實現高效的生產和改進的質量標準。總體而言,L 3510是一款創新且功能強大的多功能設備,適用於各種蝕刻和灰化應用。其先進的特點和高精度的速度和加速度算法使得它成為一個快速和可靠的蝕刻和灰化需求的選擇。GASONICS/NOVELLUS L 3510具有堅固耐用的設計,是各種行業和應用的理想選擇。