二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9271641 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510 asher是Advanced IC Manufacturing processes中使用的先進等離子體蝕刻器。這種先進的蝕刻器能夠蝕刻各種材料層，包括矽、金屬和電介質。它采用FlexEtch Advanced Etcher,通過提供超低溫等離子體,以極高的速率提供精密蝕刻。使用GASONICS L 3510 asher,用戶不僅可以獲得蝕刻功能,還可以獲得先進的過程控制、監控和分析工具。NOVELLUS L 3510 asher由一個機器人基板噴嘴和熱加壓氧氣等離子體源組成，以其以理想的蝕刻速率蝕刻每一材料層的能力幫助優化蝕刻過程。其先進的工藝控制有助於保持蝕刻均勻性,消除陰影,並提供移位補償,從而減少了對工藝後清潔和幹燥的需求。它的高級工作站配備了一個適應性強的控制器，可以根據一系列流程參數進行重新配置，並且是高級流程監控和流程優化功能的主機。還包括一個先進的可視化設備，允許用戶現場監測蝕刻過程。L 3510 asher還具有集成材料數據庫、高級流程數據庫和配方管理系統,有助於快速流程周轉。數據庫中裝有重要的蝕刻指標和配方,用戶可以從中選擇和分析其處理配方,從而優化其設備特性和試點生產結果。此外，數據庫附帶了一個板載數據庫更新程序，可以方便地為將來的進程和應用程序升級數據庫。GASONICS/NOVELLUS L 3510 asher是為安全而設計的,提供標準的安全功能,例如互鎖單元、遠程排放控制、非過程監控和自動清除序列。保護機器還包括吸塵室清理傳感器、排放監控器和緊急停止控制。此外，該單位擁有先進的軟件和工具架構，以維護安全操作和下遊環境合規性。GASONICS L 3510 asher是一種成本效應、可靠的工藝解決方案，在半導體行業中脫穎而出，提供了產品產量和質量最佳的綜合蝕刻解決方案。