二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9292697 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510 蝕刻器/asher是一種中型幹等離子體設備，允許用戶同時蝕刻和粉刷晶片，創造高效而精確的結果。該工具提供了低壓、低能蝕刻工藝，不需要濕法化學品、昂貴的工藝步驟和危險廢物。它還易於實施和配置,以便在手動和自動化生產線中使用。該系統的蝕刻室由高工程彈性鋁合金和不銹鋼構成，利用優化的15千瓦射頻發電機提供峰值功率輸出。腔室壓力維持在真空環境中，使反應性等離子體蝕刻和降低顆粒汙染的風險。該單元還能夠進行自上而下或自下而上的蝕刻工藝，以提高精度，並能夠控制蝕刻的大小和方向。此外，線性中電流電源產生恒定電壓，在整個晶片中保持均勻蝕刻，並且不需要補償電源循環。GASONICS L 3510還提供了廣泛的功能,包括自動擡起光掩模以保護微妙表面的光掩模升降機、遠程監控以跟蹤生產,以及集成的機器診斷以排除任何潛在問題。此外,該工藝室允許高吞吐量和大面積蝕刻,無步進覆蓋範圍限制。它還允許最小化的過程變化和均勻性，無論材料類型或設計。最後，NOVELLUS L 3510 蝕刻器/asher具有用戶友好的圖形用戶界面，允許輕松操作和優化，提供實時反饋，並允許未來的升級和維護。該工具還設計用於多種行業，包括微電子學、生物-MEMS和LED，使其成為滿足蝕刻和灰化需求的多功能高效工具。