二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299007 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510 Etcher/Asher是一種精密蝕刻沈積設備，用於高分辨率電子電路的高級處理。該系統由四個部分組成：工藝工具、微制造、等離子體灰燼和蝕刻器。所有部分均由GASONICS L串聯過程控制器（IPC）自動控制。「工藝工具」用於控制整個設備,包括工藝持續時間、溫度、壓力和速率。它還支持兩種不同的蝕刻技術,具體取決於晶圓上的應用。第一種技術是濕蝕刻，第二種是幹蝕刻。采用濕蝕刻技術在晶圓上沈積金屬.其優點是能夠產生高分辨率、高環性的蝕刻結構。機器的Micro-Fabrication部分用於成形半導體元件。它采用專門的「微制造」工藝，使操作員能夠以非常精確的方式塑造或蝕刻晶圓的成分。等離子體灰燼部分用於在任何蝕刻過程發生之前「清潔」晶片。它利用了一個被稱為「等離子體灰化」的過程，這是將晶片暴露於等離子體以去除有機汙染物和金屬氧化物殘留物的過程。Plasma Asher還可以進行蝕刻後清潔。「蝕刻器」（Etcher）部分是工具的核心。它能夠在晶片上產生具有優良側壁清晰度的高分辨率精細結構。它支持深反應離子蝕刻（DRIE）、等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）、反應離子蝕刻（RIE）等蝕刻工藝。此外,該蝕刻器還采用先進的模式識別功能和生產數據的三維投影技術來處理要求最高的工藝配方。GASONICS L 3510 Etcher/Asher資產高度可配置,使用戶能夠根據特定的生產需求定制模型。它具有用戶友好的界面，允許操作員快速設置和調整設備參數。其先進的性能特點，結合精密的蝕刻和精密的清潔技術，使NOVELLUS L 3510 Etcher/Asher成為高效而強大的蝕刻沈積系統。