二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299008 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510 蝕刻器/asher是一款功能強大的高性能工具,專為高容量和高通量的工藝步驟而設計。設備采用先進的蝕刻技術,提供卓越的性能和精度.其專利氣體輸送系統和高效過濾器確保了最佳工藝條件,而其精密的軟件和多語言支持則確保了生產環境中的最大控制和靈活性。該單元包括一個多氣體輸送模塊，由空氣/氮氣凈化、真空界面和四條氣體輸送管線組成，用於工藝輸送。該機還采用了獲得專利的Mix Boost稀釋工藝，以實現更大的浸入控制，獲得專利的用於減少停機時間的自動補充算法，以及用於汙染物控制的高級離子流。此外,它的模塊化設計還提供了一個可選的RF模塊,可在超低kV應用程序中運行,從而方便地集成到現有流程中。GASONICS L 3510蝕刻器提供精密氣體混合和獲得專利的空氣-氣體凈化工具，可以監測和補償氣體沈積，同時盡量減少顆粒汙染。它的高級配置工具支持過程參數,包括速度、選擇性、方向和蝕刻深度,並提供用於過程控制和數據收集的儀器。該平臺還支持廣泛的專業應用，具備配置和控制多種淬火氣體溶液的能力，包括反應性蝕刻、除氣和等離子體清洗。NOVELLUS L 3510與現有蝕刻工藝兼容，其模塊化架構確保輕松融入現有生產線。支持廣泛的接口,開放平臺軟件套件提供了低開銷的自動化解決方案,從而提高了流程的準確性和速度。L3510具有三年的硬件和軟件保修期。所有這些功能結合在一起,使GASONICS/NOVELLUS L 3510 蝕刻器/asher成為高通量、大容量處理的理想解決方案。