二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299009 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一種精密的蝕刻和灰化設備，設計用於處理晶圓處理，具有先進的精度、控制和吞吐量。它具有三級體系結構,允許采用低到中度模具選擇性的高級蝕刻和灰化操作。GASONICS L 3510最適合在厚度高達0.45微米的情況下進行蝕刻和灰分沈積。該系統配有高級控制臺，用於精確操作和監測蝕刻/灰化過程。它使用實時流程數據來確保盡可能高的性能。這款觸摸屏控制臺用戶友好，提供了一個易於使用的界面來幫助編程任務。該裝置有一個專利的四象限氣體輸送機器，允許精確蝕刻和灰化在廣泛的領域。這個工具使用兩個端口；一個供應低壓，一個供應高壓。流動趨向於保持均勻，兩個方向均勻，背景壓力可相應調整。此外，該資產還有一個內置的快速熱處理裝置，可以對若幹材料進行快速熱退火。這對於具有不同階梯設計的晶片的處理特別有用。RTP單元在脈沖和恒熱模式下運行，提供精確的溫度控制。NOVELLUS L 3510還有一個集成的吸塵機構，采用多級真空模型，確保了出色的晶圓處理和過程控制。這包括一個真空源、閘閥和一個用於精確控制真空壓力的控制器。最後，該設備有一個激光輔助掃描傳感器，用於晶圓的精確對準和運動。這使得晶片可以輕松快速地從一個蝕刻位置移動到另一個蝕刻位置。激光輔助掃描傳感器還能夠精確調整蝕刻和灰度角，以獲得最佳的蝕刻和灰度性能。