二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9299010 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一種用於半導體制造的蝕刻和灰化設備。這一環保系統旨在根據行業標準和性能要求提供精確、高質量的光刻。GASONICS L 3510采用先進的橫向電流蝕刻和灰化技術,通過底層防反射塗層,在0.35 μ米的尺寸上提供最大的蝕刻鈍化和均勻性。其車載載波管理提供精確的目標內蝕刻控制，並設有前端面板，無需單獨的計算機控制器。NOVELLUS L 3510是一種模塊化單元，兼容高長寬比、高選擇性蝕刻、精細特征修剪等應用。它為蝕刻提供了高達1,500W的功率,為增加大小特征尺寸的吞吐量提供了高達600W的灰度。該機器還具有可變強化電子源，可為寬線應用和高生產率過程提供最佳性能。此外,L 3510還包括高級診斷程序,可實現最大的刀具洞察力和控制能力,以及高級Endura軟件,可增強流程控制。Endura軟件允許高效使用資產和流程優化。它還提供全面的流程管理和安全的數據記錄功能,使模型既通用又有用。GASONICS/NOVELLUS L 3510直觀的用戶界面和帶有全彩色腔室插圖的實時腔室診斷也增加了它的可用性。總之，GASONICS L 3510是一種先進、可靠的蝕刻和灰化設備，提供精確的光刻性能。它是半導體工業的理想選擇，其前瞻性設計是尋求可靠高效光刻性能者的絕佳選擇。NOVELLUS L 3510具有即插即用設置和易於使用的功能,是尋找蝕刻和灰化系統的用戶的絕佳選擇。